Изменение № 1 ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Утверждено и введено в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12.11.2010 № 468-ст

Дата введения 2011-04-01

Предисловие. Сведения о стандарте. Пункт 1 дополнить словами: «Федеральное государственное учреждение Российский научный центр «Курчатовский институт», Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)»;

последний абзац. После слов «на официальном сайте» исключить слово: «национального».

Раздел 1. Первый абзац. Заменить слова: «при измерении» на «для измерения»;

третий абзац исключить.

Раздел 2. В наименовании стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 ссылку на ГОСТ Р ИСО 14644-1 дополнить знаком сноски - *;

дополнить сноской: «* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002».

Пункт 3.1. Термин изложить в новой редакции: «рельеф поверхности (твердого тела)».

Пункт 3.2. Термин изложить в новой редакции: «элемент рельефа (поверхности)».

Пункт 3.5. Термин изложить в новой редакции: «мера (физической) величины».

Пункт 3.8. Термин изложить в новой редакции: «рельефная мера (нано- метрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов)».

Пункт 3.10. Термин изложить в новой редакции: «сканирование (элемента исследуемого объекта)».

Пункт 3.12. Термин изложить в новой редакции: «видеопрофиль (информационного сигнала)».

Пункт 3.13. Термин изложить в новой редакции: «масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа)».

Пункт 3.14. Определение после слов «в процессе сканирования» изложить в новой редакции: «перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под зондом) в вертикальном направлении».

Пункт 4.1. Таблица 1. Головка таблицы. Заменить слово: «пункта» на «подраздела»;

графа «Наименование средства поверки и его основные технические и метрологические характеристики». Исключить слова: «входящий в комплект поставки сканирующего зондового атомно-силового микроскопа» (2 раза), «входящий в комплект поставки атомно-силового микроскопа»;

после слов: «с относительной погрешностью не более 3·10^-7» дополнить знаком: % (2 раза);

для операции «Определение метрологических характеристик» заменить слово: «сканировании» на «сканирования»;

графу «Обязательность проведения операции при поверке» исключить;

примечание к таблице 1 исключить.

Раздел 5 изложить в новой редакции:

«5 Требования к квалификации поверителей

Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на право проведения поверки средств измерений.

Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со сканирующими зондовыми атомно-силовыми микроскопами (далее - АСМ) и двухлучевыми лазерными гетеродинными интерферометрами и знать требования настоящего стандарта».

Раздел 6 дополнить абзацем:

«Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства».

Пункт 7.1. Заменить значения:  на (220 ± 22) В, 50⁺¹⁰ Гц на (50,0 ± 0,4) Гц.

Пункт 7.2. Заменить слова: «размещения средств измерений для поверки рельефных мер» на «в котором размещают средства измерений для поверки рельефных мер».

Пункт 8.1.2. Исключить слова: «При этом должно быть обеспечено плотное прилегание нижней плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола АСМ»;

дополнить абзацем:

«При установке рельефной меры необходимо обеспечить:

- плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола АСМ;

- параллельность плоскости, образованной верхним основанием выступа поверяемого элемента рельефной меры, направлению горизонтального перемещения зонда (или рабочего стола) АСМ, а также ортогональностью такого перемещения к линии пересечения верхнего основания выступа с его наклонной стенкой».

Пункт 8.1.3. После слов «Шаговая структура» заменить слово: «поверхности» на «на поверхности рельефной».

Пункт 8.2.2. Последний абзац. Заменить слово: «Взаимное» на «Такое взаимное».

Пункт 8.2.3. Первый абзац после слов «При этом» дополнить словом: «предварительно»;

второй абзац после слов «по эксплуатации» дополнить словом: «применяемых»;

третий абзац изложить в новой редакции, дополнить абзацами:

«- путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность направления прохождения информативного луча вертикального лазерного интерферометра и направления вертикального перемещения Z-сканера АСМ при сканировании элемента рельефа;

- в соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых АСМ и лазерных интерферометров определяют частоту и скорость сканирования поверяемого элемента, при которых в электронно-фазометрических системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных полос интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информативными лучами горизонтального и вертикального интерферометров;

устанавливают показания электронно-фазометрических систем применяемых лазерных интерферометров в «нулевое» положение, определяемое нестабильностью младшего разряда используемых аналого-цифровых преобразователей в указанных электронно-фазометрических системах».

Пункт 8.3.1 изложить в новой редакции:

«8.3.1 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1».

Пункт 8.3.2. Первый абзац после слов «по эксплуатации» дополнить словом: «применяемых»; после слова «сканирование» дополнить словом: «выступа».

Пункты 8.3.3 - 8.3.5 изложить в новой редакции:

«8.3.3 По показаниям электронно-фазометрической системы горизонтального лазерного интерферометра определяют значение горизонтального фазового сдвига ΔФ_Г в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.

8.3.4 По показаниям электронно-фазометрической системы вертикального лазерного интерферометра определяют значение вертикального фазового сдвига ΔФ_В в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.

8.3.5 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1».

Пункт 8.4. Заменить слова: по «8.3.2 и 8.3.3» на по «8.3.2 - 8.3.4»;

второй абзац дополнить словами: «Протокол с результатами поверки должен храниться как минимум до следующей поверки рельефной меры».

Пункт 9.1 исключить.

Пункт 9.2. Заголовок и первый абзац после слова «элемента» дополнить словом: «рельефа»;

пояснение для параметра ΔФ_Г. Заменить слова: «вычисленный по 9.1» на «измеренный по 8.3.3».

Пункт 9.4 исключить.

Пункт 9.5. Пояснение для параметра ΔФ_В. Заменить слова: «вычисленный по 9.4» на «измеренный по 8.3.4».

Пункт 9.6 исключить.

Пункт 9.7 изложить в новой редакции:

«9.7 Вычисление высоты выступа поверяемого элемента рельефа

Значение высоты выступа h в нанометрах равно значению вертикального перемещения Z-сканера ΔН, вычисленному по 9.5».

Пункт 9.10. Формулу изложить в новой редакции:

«b_p = b_и + 1,4142h».

Пункт 9.11. Формулу изложить в новой редакции:

«а = 0,7071h».

Пункт 9.12 изложить в новой редакции:

«9.12 Погрешность измерений

При соблюдении условий проведения измерений и использовании средств поверки с метрологическими характеристиками не хуже указанных в 4.1 абсолютные погрешности измерений значений линейных размеров поверяемого элемента рельефной меры приведены в таблице 2.

Таблица 2 - Абсолютные погрешности измерений значений линейных размеров b_и, b_р, h и a

Наименование и обозначение линейного размера поверяемого элемента рельефной меры	Абсолютная погрешность измерений, нм, не более
Ширина верхнего основания трапецеидального выступа, bи	±0,8
Ширина нижнего основания трапецеидального выступа, bр	±1,4
высота трапецеидального выступа, h	±0,3
Проекция наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа, а	±0,3

Пункты 10.1, 10.2 изложить в новой редакции:

«10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы и внесением соответствующей записи в паспорт (формуляр) рельефной меры.

10.2 На лицевой стороне свидетельства о поверке наносят знак поверки (поверительное клеймо), а также указывают даты выдачи и окончания срока действия свидетельства. На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (формуляре) рельефной меры должны быть приведены значения высоты выступа, ширины верхнего и нижнего его оснований, а также значение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа поверяемого элемента. Для перечисленных метрологических характеристик рельефной меры необходимо также указать абсолютные погрешности их измерений, приведенные в подразделе 9.12 настоящего стандарта».

Приложение А. Пункт А.3. Пояснение для параметров ƛ₁, ƛ₂. Заменить слова: «по 6.2 и 6.5» на «по 9.2 и 9.5».

Библиография. Исключить позиции [2] и [7].

(ИУС № 2 2011 г.)