Изменение № 1 ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Утверждено и введено в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12.11.2010 № 467-ст

Дата введения 2011-04-01

Предисловие. Сведения о стандарте. Пункт 1 дополнить словами: «Федеральное государственное учреждение Российский научный центр «Курчатовский институт», Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)»;

последний абзац. После слов «на официальном сайте» исключить слово: «национального».

Введение. Исключить слова: «измерительные», «измерительных» (2 раза);

третий абзац дополнить наименованием ГОСТ 19658-81: «Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия».

Раздел 1. Второй абзац. Исключить слово: «измерительных» (2 раза).

Раздел 2. В наименованиях ГОСТ Р 8.630-2007 и ГОСТ Р 8.631-2007 исключить слово: «измерительные».

Пункт 3.1. Термин изложить в новой редакции: «рельеф поверхности (твердого тела)».

Пункт 3.2. Термин изложить в новой редакции: «элемент рельефа (поверхности)».

Пункт 3.3. Термин изложить в новой редакции: «одиночный элемент рельефа (поверхности)».

Пункт 3.9. Термин изложить в новой редакции: «мера (физической) величины».

Пункт 3.12. Термин изложить в новой редакции: «шаговая структура (рельефа поверхности)».

Пункты 4.3, 5.3. Исключить слово: «измерительных» (4 раза).

Пункт 4.4. Заменить слова: «верхнее основание» на «верхние основания», «от 3·10^-8 до 5·10^-7 м» на «от 5·10^-9 до 8·10^-7 м».

Библиографические данные. Ключевые слова. Исключить слово: «измерительные» (2 раза).

(ИУС № 2 2011 г.)