Скачать ГОСТ Р 8.716-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика выполнения измерений

Дата актуализации: 10.08.2017

ГОСТ Р 8.716-2010

Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика выполнения измерений

Обозначение:	ГОСТ Р 8.716-2010
Обозначение англ:	GOST R 8.716-2010
Статус:	действует
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика выполнения измерений
Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range 10 to 30 nm. Procedure of measurements
Дата добавления в базу:	01.09.2013
Дата актуализации:	05.05.2017
Дата введения:	01.01.2012
Область применения:	Стандарт распространяется на средства измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм - рефлектометры экстремального вакуумного ультрафиолетового излучения, предназначенные для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражения, и устанавливает методику измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения. ЭУФ рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне значений от 0,01 до 0,99. В качестве источников непрерывного ЭУФ излучения используют электронные накопительные кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ излучения используют открытые излучатели на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные синхротроны. В качестве приемников ЭУФ излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе многослойных наноструктур.
Оглавление:	1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Требования к погрешности измерений 4 Средства измерений и вспомогательные устройства 5 Метод измерений 6 Требования безопасности 7 Требования к квалификации операторов 8 Условия измерений 9 Подготовка к выполнению измерений 10 Порядок выполнения измерений 11 Контроль погрешности результатов измерений 12 Оформление результатов измерений Приложение А (обязательное) Коэффициенты зеркального и диффузного отражений Библиография
Разработан:	ФГУП ВНИИОФИ
Утверждён:	21.12.2010 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (831-ст)
Издан:	Стандартинформ (2011 г. )
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Метрология и измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Метрология и измерения в целом
Нормативные ссылки:	ГОСТ 8.207-76 «Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения» ГОСТ 8.552-2001 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм» ГОСТ 8.197-2005 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн от 0,04 до 0,25 мкм» ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения» Федеральный закон 184-ФЗ «О техническом регулировании»