Информационная система
«Ёшкин Кот»

Скачать базу одним архивом
Скачать обновления
История создания базы
Карта сайта

Скачать ГОСТ 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Дата актуализации: 10.08.2017

ГОСТ 8.592-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение: ГОСТ 8.592-2009
Обозначение англ: GOST 8.592-2009
Статус:действует
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название англ.:State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measure. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements
Дата добавления в базу:01.09.2013
Дата актуализации:05.05.2017
Дата введения:01.11.2010
Область применения:Стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в степени минус девять до 10 в степени минус шесть м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.
Оглавление:1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа
5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры
Приложение А технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления
Библиография
Разработан: ОАО Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт
ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет)
Утверждён:11.11.2009 Межгосударственный Совет по стандартизации, метрологии и сертификации (Inter-Governmental Council on Standardization, Metrology, and Certification 36)
05.04.2010 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (56-ст)
Издан: Стандартинформ (2010 г. )
Расположен в:Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом
Нормативные ссылки:
ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009

© 2013 Ёшкин Кот :-) Карта сайта