Обозначение: | ГОСТ Р 8.643-2008 |
Обозначение англ: | GOST R 8.643-2008 |
Статус: | действует |
Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки |
Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers for extreme ultraviolet in region 10 - 30 nm. Verification procedure |
Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
Дата актуализации: | 05.05.2017 |
Дата введения: | 01.02.2009 |
Область применения: | Стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения — ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 — 30 нм, и устанавливает методику их поверки. |
Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Операции поверки 4 Средства поверки 5 Требования безопасности 6 Требования к квалификации поверителей 7 Условия поверки 8 Подготовка и проведение поверки 8.1 Внешний осмотр 8.2 Опробование 8.3 Определение метрологических характеристик 9 Обработка результатов поверки 10 Оформление результатов поверки Приложение А (обязательное) Определение коэффициентов зеркального и диффузного отражений |
Разработан: | ФГУП ВНИИОФИ
|
Утверждён: | 02.06.2008 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (113-ст)
|
Издан: | Стандартинформ (2008 г. )
|
Расположен в: |
|
Нормативные ссылки: | |