| Номер | Название |
Дата введения | Статус |
| ГОСТ 5.1800-73 |
Установка для финишной очистки воды типа УФ-400А. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.03.1973 | действующий |
| Название (англ.): Plants for water final refinements of УФ-400А type. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установку для финишной очистки деионизованной воды, предназначенную для получения глубокообессоленной воды методом ионного обмена |
| ГОСТ 5.1807-73 |
Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.02.1973 | действующий |
| Название (англ.): Type-ГИН-0,5-1М getter-ion pump. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на геттерно-ионный насос типа ГИН-0,5-1М, предназначенный для получения высокого и сверхвысокого вакуума откачкой воздуха и других неагрессивных газов, не воздействующих на материалы конструкции насоса, и для безмасляной откачки электровакуумных приборов |
| ГОСТ 25196-82 |
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования | 30.06.1983 | действующий |
| Название (англ.): Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники |
| ГОСТ 25661-83 |
Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования | 01.01.1984 | действующий |
| Название (англ.): Installations for final water treatment. General technical requirement Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции |
| ГОСТ 27716-88 |
Фотошаблоны печатных плат. Общие технические условия | 30.06.1989 | действующий |
| Название (англ.): Masks for printed boards. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на рабочие фотошаблоны, предназначенные для изготовления односторонних, двусторонних, многослойных печатных плат на гибком и жестком диэлектрическом основании и гибких печатных кабелей, разработанных по ГОСТ 23751-86 |
| ГОСТ Р 50139-92 |
Оборудование технологическое для сборочно-монтажного производства радиоэлектронных средств. Общие технические условия | 30.06.1993 | действующий |
Название (англ.): Processing equipment. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сборочно-монтажное технологическое оборудование, предназначенное для механизации и автоматизации технологических процессов электрического монтажа и сборки радиоэлектронных средств (РЭС).
По условиям эксплуатации оборудование должно соответствовать исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150 со степенью защиты корпуса от пыли и брызг IР44 по ГОСТ 14254 |