|
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.627-2007 |
|
| Статус: | действующий |
|
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений |
|
| Название англ.: | State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements |
|
| Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
|
| Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
|
| Дата издания: | 24.04.2007 |
|
| Дата введения в действие: | 30.06.2007 |
|
| Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике |
|
| Расположен в: |
|
|
