|
Обозначение: | ГОСТ 26239.8-84 |
|
Статус: | действующий |
|
Название рус.: | Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
|
Название англ.: | Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination |
|
Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
|
Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
|
Дата издания: | 21.01.1985 |
|
Дата введения в действие: | 01.01.1986 |
|
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
|
Область и условия применения: | Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом |
|
Список изменений: | №1 от 01.01.1991 (рег. 26.06.1990) «Срок действия продлен»
|
|
Расположен в: |
|
|