|
Обозначение: | ГОСТ Р 8.640-2008 |
|
Статус: | действующий |
|
Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки |
|
Название англ.: | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
|
Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
|
Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
|
Дата издания: | 15.05.2008 |
|
Дата введения в действие: | 01.01.2009 |
|
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
|
Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
|
Расположен в: |
|
|