|
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.643-2008 |
|
| Статус: | действующий |
|
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки |
|
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers for extreme ultraviolet in region 10 - 30 nm. Verification procedure |
|
| Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
|
| Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
|
| Дата издания: | 18.07.2008 |
|
| Дата введения в действие: | 01.02.2009 |
|
| Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения - ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 - 30 нм, и устанавливает методику их поверки |
|
| Расположен в: |
|
|
