| Обозначение | Дата введения | Статус |
  ГОСТ 2.796-81 Единая система конструкторской документации. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем | 01.01.1997 | Заменен |
| Область применения: Стандарт устанавливает условные графические обозначения элементов вакуумных систем в схемах всех отраслей промышленности, выполняемых вручную или автоматизированным способом. Чем заменён: |
 ГОСТ 2.796-95 Единая система конструкторской документации. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем | 01.01.1997 | Действует |
| Область применения: Стандарт устанавливает условные графические обозначения элементов вакуумных систем всех отраслей промышленности. Заменяет собой: |
| ГОСТ 2.797-81 Единая система конструкторской документации. Правила выполнения вакуумных схем | 01.01.1983 | Действует |
| Область применения: Стандарт устанавливает правила выполнения вакуумных схем вакуумных систем всех отраслей промышленности. Чем заменён: |
| ГОСТ 5.1150-71 Насосы высоковакуумные диффузионные типа НВД. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.01.1972 | Действует |
| |
| ГОСТ 5.1807-73 Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.02.1973 | Действует |
| |
| ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения | 01.07.1986 | Действует |
| Заменяет собой: |
| ГОСТ 9887-70 Механизмы исполнительные пневматические мембранные ГСП. Общие технические условия | 01.07.1973 | Действует |
Область применения: Стандарт распространяется на пневматические мембранные пружинные исполнительные устройства Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для управления регулирующими и запорными органами исполнительных устройств в системах управления производственными процессами и для управления регулирующей арматурой. Заменяет собой:  ГОСТ 9887-61 «Механизмы исполнительные пневматические мембранные» |
| ГОСТ 9986-78 ГСП. Преобразователи электропневматические аналоговые. Общие технические условия | 01.07.1979 | Действует |
Область применения: Стандарт распространяется на электропневматические аналоговые преобразователи, входящие в комплекс государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), эквивалентно преобразующие электрические аналоговые токовые сигналы и сигналы напряжения постоянного тока в аналоговый пневматический сигнал. Заменяет собой: - ГОСТ 9986-67 «Преобразователи электропневматические аналоговые ГСП»
- ГОСТ 4.193-85 «СПКП. Приборы вторичные пневматические. Приборы регулирующие пневматические. Приборы, блоки и элементы функциональные, преобразователи пневматические. Номенклатура показателей»
|
| ГОСТ 9988-84 Устройства регулирующие пневматические ГСП. Общие технические условия | 01.07.1985 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на пневматические (с унифицированным пневматическим выходным сигналом) регулирующие устройства государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для использования в системах автоматического контроля, регулирования и управления параметрами промышленных технологических процессов (регуляторы, выполненные в виде самостоятельных устройств), а также для встраивания в приборы ГСП и не используемые как самостоятельные устройства. Заменяет собой: |
| ГОСТ 13373-67 Механизмы исполнительные пневматические мембранные ГСП. Основные параметры и размеры | 01.07.1968 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на пневматические мембранные пружинные исполнительные механизмы Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации. |
| ГОСТ 14715-88 Арматура вакуумная. Типы. Основные параметры | 01.01.1990 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на сверхвысоковакуумные угловые клапаны и прямоходные затворы климатического исполнения УХЛ 4 и О4 по ГОСТ 15150, работающие в диапазоне давлений до 1 · 10-7 Па и имеющие уплотнители, выполненные из термостойкой резины и допускающие прогрев до температуры не ниже 150 °С.
Стандарт не распространяется на затворы с поворотной заслонкой, а также на вакуумную арматуру специального назначения. Заменяет собой: |
| ГОСТ 18626-73 Проходы условные элементов вакуумных систем. Основные размеры | 01.09.2008 | Отменен в РФ |
| Область применения: Стандарт распространяется на элементы вакуумных ситем и устанавливает ряд номинальных размеров условных проходов. |
| ГОСТ 24206-80 Приборы и устройства пневматические для математических операций ГСП. Общие технические условия | 01.01.1982 | Действует |
Область применения: Стандарт распространяется на пневматические приборы и устройства Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для выполнения математических операций с унифицированными аналоговыми пневматическими сигналами. Заменяет собой: - ГОСТ 16134-70 «Приборы и устройства алгебраических операций пневматические ГСП. Типы и основные параметры»
- ГОСТ 17560-72 «Приборы и устройства для алгебраических операций пневматические ГСП. Технические требования»
- ГОСТ 4.193-85 «СПКП. Приборы вторичные пневматические. Приборы регулирующие пневматические. Приборы, блоки и элементы функциональные, преобразователи пневматические. Номенклатура показателей»
|
| ГОСТ 24934-81 Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры | 01.01.1982 | Не действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на неподвижные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники и устанавливает основные и присоединенные размеры неподвижных винтовых фланцев с условными проходами от 10 до 1000 мм ряда R5 по ГОСТ 8032. |
| ГОСТ 24935-81 Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры | 01.01.1982 | Не действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на поворотные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных, накидных фланцев и распорных колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5 по ГОСТ 8032-56. |
| ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования | 01.07.1983 | Действует |
| |
| ГОСТ 25197-82 Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры | 01.07.1983 | Действует |
| |
| ГОСТ 25198-82 Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры | 01.07.1983 | Не действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазон давлений от 10 в степени 5 до 10 в степеи -5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5 по ГОСТ 8032-84. |
| ГОСТ 25662-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний | 01.01.1984 | Действует |
Заменяет собой: - ГОСТ 14708-77 «Насосы диффузионные паромасляные. Основные параметры»
|
| ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний | 01.01.1984 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия. |
| ГОСТ 26099-84 Насосы вакуумные поршневые. Типы и основные параметры | 01.01.1985 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на вакуумные поршневые насосы с водяным охлаждением, предназначенные для откачки воздуха и неагрессивных газов, предварительно очищенных от капельной влаги и механических примесей. |
| ГОСТ 32974-2014 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 2. Вакуумные насосы объемного действия | 01.09.2015 | Введен впервые |
| Область применения: Стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия. Стандарт устанавливает требования к методикам измерений быстроты действия, базового давления, наибольшего давления паров воды, потребляемой мощности и минимальной температуры запуска насосов объемного действия, которые осуществляют выхлоп газа при атмосферном давлении, с предельным давлением обычно менее 10 кПа. В стандарте необходимо использовать определения быстроты действия и базового давления. Стандарт также применяется при проведении испытаний других типов насосов, выпускающих газ при атмосферном давлении. |
| ГОСТ 33517-2015 Вакуумная технология. Угловые клапаны. Размеры и условия подключения для пневматических приводов | 01.01.2017 | Введен впервые |
| Область применения: Стандарт устанавливает размеры угловых клапанов, совместимых с установочными размерами фланцев, приведенных в [1] и [2]. |
| ГОСТ 33518-2015 Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение рабочих характеристик | 01.01.2017 | Введен впервые |
| Область применения: Стандарт определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных насосов. Он применяется для всех типоразмеров турбомолекулярных насосов с механическими или магнитными подшипниками; и с или без дополнительной молекулярной ступени. |
| ГОСТ ISO 3669-2014 Вакуумная техника. Прогреваемые фланцы. Размеры | 01.09.2015 | Введен впервые |
| Область применения: Стандарт устанавливает размеры неподвижных или поворотных прогреваемых фланцев, соединяемых болтами, которые используются в вакуумных системах при давлении в установившемся режиме менее 10 в степени -5 Па (7,5*10 в степени -8 мм рт. ст.) - то есть при сверхвысоком вакууме. |
| ГОСТ Р 52615-2006 Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы | 01.03.2007 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на все типы вакуумных насосов, комбинаций вакуумных насосов и вакуумные системы и устанавливаемые основные виды опасностей, исходящие от вакуумных насосов. |
| ГОСТ Р 52715-2007 Оборудование вакуумное. Соединительные части трубопровода. Установочные размеры | 01.04.2014 | Заменен |
| Область применения: Стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины) и устанавливает установочные размеры для соединительных частей вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 630 мм ряда R5. Чем заменён: |
| ГОСТ Р 52856-2007 Оборудование вакуумное. Размеры фланцев | 01.06.2008 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на неподвижные опорные и накидные фланцы, а также на установочные и центрирующие кольца, обеспечивающие герметичность вакуумных соединений, и устанавливает их основные и присоединительные размеры. |
| ГОСТ Р 52912-2008 Диаметры номинальные элементов вакуумных систем. Ряды | 01.09.2008 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на элементы вакуумных систем и устанавливает ряд значений номинальных диаметров, а также их обозначение. |
| ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности | 01.05.2009 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на масс-спектрометрический метод контроля герметичности вакуумных систем всеми способами, указанными в ГОСТ 28517, при которых происходит натекание пробного вещества в предварительно откачанный объект, и устанавливает процедуры определения характеристик контроля. |
| ГОСТ Р 53334-2009 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки) | 01.08.2009 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на пароструйные вакуумные насосы и устанавливает метод измерения быстроты действия этих насосов.
Рассматриваемые насосы включают в себя три класса:
- диффузионные насосы;
- эжекторные насосы;
- бустерные насосы (т.е. насосы, способные работать как в молекулярном, так и в ламинарном режимах потока, сочетая свойства диффузионного и эжекторного насосов).
Перечисленные насосы могут работать с ловушкой(ами) или без нее (них) |
| ГОСТ Р 53335-2009 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные объемного действия. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки) | 01.08.2009 | Действует |
| Область применения: Стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает метод измерения быстроты действия. Данные типы насосов могут работать с ловушкой(ами) или без нее(них). |