Обозначение: | ГОСТ Р 8.636-2007 |
Обозначение англ: | GOST R 8.636-2007 |
Статус: | действует |
Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки |
Название англ.: | State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Scanning electron microscopes. Methods for calibration |
Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
Дата актуализации: | 05.05.2017 |
Дата введения: | 01.08.2008 |
Область применения: | Стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров, и устанавливает методику их калибровки. |
Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Технические требования 5 Требования к квалификации калибровщиков 6 Требования по обеспечению безопасности 7 Подготовка к процедуре калибровки 8 Процедура проведения измерений 9 Обработка результатов измерений 10 Оценка неопределенности измерений параметров 11 Оформление результатов калибровки Библиография |
Разработан: | ОАО Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума Государственное образовательное учреждение высшего професионального образования Московский физико-технический институт (государственный университет)
|
Утверждён: | 20.11.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (319-ст)
|
Издан: | Стандартинформ (2008 г. )
|
Расположен в: |
|
Нормативные ссылки: | |