Обозначение: | ГОСТ Р 8.627-2007 |
Обозначение англ: | GOST R 8.627-2007 |
Статус: | действует |
Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений |
Название англ.: | State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements |
Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
Дата актуализации: | 05.05.2017 |
Дата введения: | 01.07.2007 |
Область применения: | Стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике. |
Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Требования к погрешности измерений 4 Средства измерений и вспомогательные устройства 5 Метод измерений 6 Требования безопасности 7 Требования к квалификации операторов 8 Условия измерений 9 Подготовка и проведение измерений 10 Контроль погрешности результатов измерений 11 Оформление результатов измерений Приложение А Определение коэффициентов зеркального и диффузного отражения |
Разработан: | ФГУП ВНИИОФИ
|
Утверждён: | 28.02.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (26-ст)
|
Издан: | Стандартинформ (2007 г. )
|
Расположен в: |
|
Нормативные ссылки: | |